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基本参数
型号
传感器
目镜
物镜
20-60000x 放大倍数
最大倍数
最大分辨率
聚光镜
调焦系统
照明控制
载物台
存储空间
液晶屏
观测功能
配套软件
特色功能
分辨率:15nm(30KV,BSE Image)
电压:1-30kv(1/5/10/15/20/30)
探测器:SE(Secondary Electron)二次电子
电子枪:Tungsten Filament(cartridge)钨灯丝
光阑:200um(fix)
真空模式:High Vacuum高真空系统,电子显微镜,样品台尺寸:X:35㎜,Y:35㎜,R:360?/3-axis
样品尺寸:70*30mm
其他介绍