荷兰ASML(阿斯麦)正在全力研制划时代的新光刻机high-NA EUV设备。
所谓high-NA即高数值孔径,从当前的0.33提升到0.55,从而允许更紧密的电路图案(2nm及以下)和更高的生产效率。
据elec报道,周二在韩国首尔,ASML CEO Peter Wennink透露, 高NA EUV光刻机系统的单台造价将在300亿到350亿欧元之间,约合人民币2195到2561亿元。
这是什么概念?
荷兰ASML(阿斯麦)正在全力研制划时代的新光刻机high-NA EUV设备。
所谓high-NA即高数值孔径,从当前的0.33提升到0.55,从而允许更紧密的电路图案(2nm及以下)和更高的生产效率。
据elec报道,周二在韩国首尔,ASML CEO Peter Wennink透露, 高NA EUV光刻机系统的单台造价将在300亿到350亿欧元之间,约合人民币2195到2561亿元。
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