上海AI实验室攻克芯片光刻胶制备难题，打破国外技术垄断！

上海人工智能实验室联合多家科研单位，用“书生”科学大模型与自动化研发平台，攻克高端KrF光刻胶树脂稳定制备难题，产业关键指标达预期。团队构建“AI决策+自动化合成”闭环体系，实现全流程运行，将金属杂质含量稳定控制在极低水平，实现“经验主导”到“数据驱动”转型，缩短开发周期。这一突破使高端光刻胶树脂制备不再依赖国外供应商。目前成果进入客户端验证阶段，为半导体产业链自主性奠定基础。

技术上，展示了AI在底层科学发现的潜力，未来智能化合成平台将推动更多核心半导体材料技术突围。